掃描范圍（mm×mm）

材料

適用波長(μm)

入射光直徑(mm)

最大入射角（°)

鏡座至工件距離(mm)

振鏡至鏡座距離(mm)

50×50

光學玻璃

1.064

8

15

102

13

80×80

光學玻璃

1.064

14

15

113

12

110×110

光學玻璃

1.064

14

15

165

13

125×125

光學玻璃

1.064

14

15

184

13

175×175

光學玻璃

1.064

14

15

249

14

200×200

光學玻璃

1.064

14

15

284

14

250×250

光學玻璃

1.064

14

15

347

14

300×300

光學玻璃

1.064

14

15

421

15