臭氧在應用于中水回用易處理，出水效果好。處理廢水一般用于一、二級生物處理出水的殺菌消毒,但其他行業同時也廣泛應用，比如利用臭氧氧化去除生物難以降解的或者有毒的化合物,以提高廢水生物氧化單元的效率,此外也可以用以減少污泥產量。其同時還是去除工業廢水中的有機污染物和無機污染物以及消毒。把這些工業廢水分成21類見表1-1。包括：殺蟲劑生產和使用中產生的廢水、受五氯酚污染的木材或含二氧雜環己烷廢棄物的漂洗廢水、海水養殖廢水、家畜糞便廢水以及垃圾滲濾液等。臭氧主要用于處理這些工廠（焦化廠，石油精煉廠，塑料加工廠，制漿造紙廠，紡織廠，肥皂、清潔劑加工廠，食物、飲料加工廠等）產生的廢水中的酚類物質。除此以外，臭氧也可以用來處理含有表面活性劑的廢水和染料廢水。這些廢水中的大多數化合物與臭氧直接反應的速率常數都非常高，因此，臭氧有望成為減少或消除這些廢水污染的首選氧化劑。同時可以采用高級氧化技術（生物+O3氧化）；提高污水的可生化性。

 

                                      使用臭氧處理的廢水類型              表1-1