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參 數 名 稱 |
單 位 |
配置 |
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加熱系統 |
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電阻或RF感應加熱，帶加溫和勻氣系統 |
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工 作 溫 度 |
℃ |
100~1000℃ |
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觀察區尺寸 |
(φ×H)mm |
一英寸、二英寸、三英寸、四英寸 |
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工作載荷 |
T |
1-4T |
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控 溫 精 度 |
℃ |
±1 |
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極限真空 |
pa |
6.67×10-3 |
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密封系統 |
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磁流體密封 |
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水冷、氣路系統 |
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冷卻水循環機、無噪聲氣泵 |
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報警及保護 |
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對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應保護措施 |
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真空系統
（選 配） |
真空系列 |
單級機械泵、擴散泵機組、分子泵 |
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工作腔體 |
不銹鋼 | |
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氣氛系統 |
浮子流量計、進口、國產質量流量計 | |
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記錄裝置 |
進口、國產無紙記錄儀 | |
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