據悉，該串級溫控器由在溫控領域深耕超過30年的國內廠商廈門宇電自動化科技有限公司（以下簡稱：宇電）自主研制。此次半導體設備專用國產串級溫控器的成功推出，填補了過去多年在這一領域的

國內空白。隨著在光伏產線的成功導入，該產品接下來將向微電子等更廣泛的半導體領域擴展，推進上游半導體設備的儀表國產替代。

替代國外品牌，國產溫控器實現光伏半導體領域突破

溫控器，顧名思義，就是測量并調控溫度的設備。它通過讀取溫度傳感器的測量數值，并通過計算機程序執行復雜智能的控制算法，利用連接的執行器件調節加熱器等負載的溫度。是工業生產、自

動化產線上必不可少的核心配件。

而與普通PID溫控器不同，半導體生產設備中許多環節，比如擴散、氧化、刻蝕、PECVD等過程使用的串級溫控器需要 復雜調節算法，以此來應對半導體設備中溫度控制滯后較大且擾動多等問題。作

為溫控器應用的 市場，半導體領域對溫控器的產品精度、可靠性、抗干擾性和穩定性要求均非?？量獭?

一位光伏業內人士指出，生產晶體硅太陽能電池的產線上，溫度控制更是堪比靈魂。比如擴散爐需要 0℃左右，并且要快速將溫度波動穩定在±0.5℃內

，這對控溫的 度、可靠性和穩定性有的苛刻要求，溫度一旦發生偏差，產品性能就會大打折扣甚至報廢。

超高的技術門檻使得能進入半導體領域的串級溫控器廠商 ，以往只有日本AZBIL、英國PMA和美國WATLOW旗下EUROTHERM等少數品牌可以滿足要求。而宇電新推出的AI-8半導體設備專用串級溫控器

去年成功進入光伏領域，成為目前產品成功通過光伏半導體市場驗證的國產溫控器企業。