用途:半導體設備
極限壓強:10-7Pa
出氣法蘭:KF40
葉輪數目:多級
材質:不銹鋼
轉速:27500 rpm
重量:80KG
品牌:Edwards愛德華
進氣法蘭:ISO320F
抽速:3200 L\/s
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