L4513、L4514系列高溫擴散爐
用于半導體器件的擴散、氧化退火、燒結(jié)等工藝設(shè)備，也可做為磁性材料的燒結(jié)工藝，還可適用于機械行業(yè)的淬火、冶金業(yè)稀土的燒結(jié)工藝
全功能微控擴散系統(tǒng)、真空擴散爐、高溫擴散爐、爐體（爐管）是擴散爐/氧化爐的關(guān)鍵部件，由于爐體壽命的限制需定期更換，我公司根據(jù)客戶要求專業(yè)設(shè)計制作3〃-8〃的擴散/氧化爐體，具有溫度均勻性好，壽命長，性價比高等優(yōu)點RGL系列管式擴散爐專門設(shè)計用于材料擴散工藝，作為材料的高、中溫在氣氛環(huán)境中熱處理之用。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，優(yōu)質(zhì)氣煉石英管作為爐膛, 可預抽真空并通入保護氣體；進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設(shè)備
采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛，具有良好的潔凈度和真空度，可拆卸式的三面密封方式，耐火、保溫材料全部采用先進的輕質(zhì)纖維制品，整機質(zhì)量輕、能耗低；加熱元件采用U型硅鉬（碳）棒或KANTHAL電阻絲；溫控系統(tǒng)采用日本進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、一致性。立式真空燒結(jié)爐、單、雙管臥式真空燒結(jié)爐、燒結(jié)爐、陶瓷燒結(jié)爐、鏈（帶）式燒結(jié)爐、全功能微控擴散系統(tǒng)、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結(jié)爐、雙工位立式真空燒結(jié)爐、陶瓷金屬化氫氣燒結(jié)爐、馬弗爐、消磁爐、、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統(tǒng)、WDNX多功能溫度控制系統(tǒng)、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺、
