高溫擴散爐

L4513、L4514系列高溫擴散爐

用于半導體器件的擴散、氧化退火、燒結等工藝設備，也可做為磁性材料的燒結工藝，還可適用于機械行業的淬火、冶金業稀土的燒結工藝

全功能微控擴散系統、真空擴散爐、高溫擴散爐、爐體（爐管）是擴散爐/氧化爐的關鍵部件，由于爐體壽命的限制需定期更換，我公司根據客戶要求專業設計制作3〃-8〃的擴散/氧化爐體，具有溫度均勻性好，壽命長，性價比高等優點RGL系列管式擴散爐專門設計用于材料擴散工藝，作為材料的高、中溫在氣氛環境中熱處理之用。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，優質氣煉石英管作為爐膛, 可預抽真空并通入保護氣體；進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區設計隔板結構。具有溫度均勻控制穩定、溫區間溫度擾動小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設備
采用高純石英管或剛玉管作為內爐膛，具有良好的潔凈度和真空度，可拆卸式的三面密封方式，耐火、保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、能耗低；加熱元件采用U型硅鉬（碳）棒或KANTHAL電阻絲；溫控系統采用日本進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩定性、一致性。立式真空燒結爐、單、雙管臥式真空燒結爐、燒結爐、陶瓷燒結爐、鏈（帶）式燒結爐、全功能微控擴散系統、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結爐、雙工位立式真空燒結爐、陶瓷金屬化氫氣燒結爐、馬弗爐、消磁爐、、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統、WDNX多功能溫度控制系統、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺、專業流量計、渦街流量計、渦輪流量計、電磁流量計、V錐流量計、孔板流量計