在線尺寸測量

高速、高分辨率，同時保持穩定，超精密測量。理想的精密階段，半導體檢驗/制造系統，以及超精密加工機。

?高分辨率的規模與信號的波長比光波的干涉儀系統approx138nm，
?穩定性高，不受濕度，空氣壓力和空氣的擾動
?參考點精度：±0.1μ米
?準確度：±0.04μ米或更好（測量長度：40毫米）
?完全非接觸式設計，返回錯誤幾乎是消除。
?特殊磁性和真空兼容型號
?使用低膨脹玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（測量長度：10至420毫米）