海德漢專(zhuān)利的光刻鍍鉻技術(shù),最小信號(hào)周期0.128微米;
最高精度等級(jí)0.5微米/米;
基體可選玻璃、玻璃陶瓷及鋼質(zhì),通過(guò)基體選擇熱膨脹系數(shù),玻璃陶瓷熱膨脹系數(shù)接近零自由膨脹、拉伸、背貼等多種安裝方式,適用于不同應(yīng)用場(chǎng)合;
海德漢光柵采用成像掃描與干涉掃描原理,后者用于8~0.128微米柵距,信號(hào)誤差小于1%,消除高頻諧波,進(jìn)行高倍細(xì)分,最高分辨率1納米,可用于高速場(chǎng)合;
海德漢光柵采用大面積掃描場(chǎng)單場(chǎng)掃描方式,大大降低對(duì)油污的敏感性,超級(jí)堅(jiān)硬的光柵尺因高刻線度,灰塵、污物或水滴難以留在其表面,使得光柵尺有著很高的抗污染能力;
海德漢與超出同類(lèi)產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì):海德漢關(guān)于干涉掃描、創(chuàng)新的掃描掩膜技術(shù)及成像掃描原理的應(yīng)用,使得光柵的安裝有較大的安裝公差;
海德漢采用增量信號(hào)1Vpp或TTL輸出形式,最大電纜長(zhǎng)度30米;
海德漢光柵的工作環(huán)境要求:標(biāo)準(zhǔn)工作溫度(鑒定溫度)20℃,可工作溫度0~50℃,儲(chǔ)存溫度-20~70℃;
海德漢光柵尺的應(yīng)用:適用于半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備、PCB電路板組裝機(jī)、超精密機(jī)床、高精度機(jī)床、測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其他精密測(cè)量設(shè)備、直接驅(qū)動(dòng)等