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RF電源維修 ( 射頻系列 ) :
RFG : RFG 80,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000,RFG 3001,RFG 5500,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000,RFDS 2Kw-2KV

RFX : RFX 600,RFX 600A,RFX 1250,RFX 2500,RFX 5500,RFG-AZX
RFX II : RFX II 1250,RFX II 3000,RFX II 5500

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維修射頻電源范圍：刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工藝設(shè)備電源維修，進(jìn)口設(shè)備工業(yè)電源、中科院射頻電源、高頻電源、美國AE電源等。