功能簡介:
1 線性馬達驅(qū)動,線性光柵尺定位
a. 控制系統(tǒng)免保養(yǎng);
b. 運行無振動,保障測試精度;
c. 運行速度快;
d. X、Y軸定位精度高,達±5um@3σ
2 測量精度高
a. 高度分辨率為0.4 微米;
b. 高度測量精度為±1微米;
c. 體積重復(fù)精度為±1%@3σ;
d. 體積GR&R為3.63%(OPPO實測);
e. 掃描間距為1微米;
f. 最小可測量300 x 300 μm的錫膏;
3 采用2D+3D混合測量方式
2D光源確定錫膏平面,3D計算體積;
可以測量低于35微米的物體,比如:綠油、絲印、焊盤的高度和體積;