上海伯東代理美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 10

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上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源 KDC 10, 寬束離子源,最小型號的離子源, 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應(yīng)用.

離子束流: >10 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.

加熱燈絲產(chǎn)生電子, 增強(qiáng)設(shè)計(jì)輸出高質(zhì)量, 穩(wěn)定的電子流.

離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設(shè)計(jì).

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù)：

伯東KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP

2. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD

4. 表面改性, 激活 SM

5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

6. 離子蝕刻 IBE

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