光氧等離子凈化器初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子(O2+)，而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子(O2-)，結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產物和水。
光氧催化工作原理：
利用的高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、三jia胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO、H2O等。
1、利用同波段UV紫外線光束與二氧化鈦板發生光觸煤效應，有效裂變、氧化污染氣體。
2、利用高臭氧氣UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的效果。
3、惡臭氣體利用排風設備輸入到本動凈化設備后，凈化設備運用UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分婦化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
4、利用UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸(DHA)，再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。
