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|
測頭型號 |
F1.5 |
F1.5R |
F3.5 |
F10 |
N1.5 |
FN1.5 |
FN3.5 |
工作原理 |
磁感應 |
渦流 |
磁感應+渦流 |
||||
測量范圍 (μm) |
0-1500 |
0-3500 |
0-10000 |
0-1500 |
F:0-1500 N:0-1500 |
F:0-3500 N:0-3000 |
|
低限分辨率 |
0.1μm |
1mm |
0.1μm |
||||
示值誤差(μm) |
±(1%H+1) |
±(1%H+3) |
±(1%H+5) |
±(1%H+1) |
±(1%H+3) |
||
*小曲率半徑 (mm) |
凸1.5 |
凸1.5 |
凸5 |
凸10 |
凸1.5 |
凸1.5 |
凸5 |
*小面積直徑(mm) |
φ7 |
φ7 |
φ10 |
φ40 |
φ7 |
φ7 |
φ10 |
基體臨界厚度 (mm) |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
1 |
0.3 |
F:0.5 N: 0.3 |
F:0.5 N:0.3 |