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半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型、MOSFET型、電容型、電阻型兩種類型。電阻型氣體傳感器的原理是氣體分子導(dǎo)致材料電阻的變,非電阻型氣體傳感器主要包括敏感型氣體傳感器、連接二極管和場電壓FET等。
非電阻器型都是一類比較普遍的半導(dǎo)體材料氣敏元器件,這種元器件方便使用,不用設(shè)定操作溫度,便于一體,獲得了廣泛運(yùn)用。關(guān)鍵有結(jié)型和MOSFET型二種。結(jié)型氣敏傳感器件別稱氣敏二極管,這種氣敏元器件是運(yùn)用汽體更改二極管的整流器特點(diǎn)來工作中的。其構(gòu)造以下圖左圖圖示。它的基本原理是:貴重金屬Pd對氡氣具備可選擇性,它與半導(dǎo)體材料觸碰形成接觸勢壘。當(dāng)二極管加正向偏壓時,從半導(dǎo)體流向金屬的電子將增加,因此正向是導(dǎo)通的。
當(dāng)加負(fù)性偏壓時,載流子基礎(chǔ)沒有轉(zhuǎn)變,它是肖特基二極管的整流器特點(diǎn)。在檢驗(yàn)氛圍中,因?yàn)閷﹄睔獾奈拦πВF重金屬的功涵數(shù)更改,觸碰勢壘變?nèi)酰斐奢d流子增加,順向電流量提升,二極管的整流器特點(diǎn)曲線圖會產(chǎn)生左移。下面的圖下圖為Pd—TiO2氣敏二極管在不一樣濃度值H2的氣體中的特點(diǎn)曲線圖。因而,根據(jù)精確測量二極管的順向電流量能夠 檢測氫氣濃度。