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在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測量（1維，2維，1點） |
| 測量項目 | 熱滲透率，（熱擴散率），（熱導(dǎo)率） |
| 檢測光斑直徑 | 約3μm |
| 1點測量標(biāo)準(zhǔn)時間 | 10秒 |
| 待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
| 重復(fù)精度 | 耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％ |
| 樣品 |
1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi)
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| 工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器） |
| 平臺移動距離 |
? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm |
| 加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長：808nm |
| 檢測激光 | 半導(dǎo)體激光波長：658nm |
| 電源供應(yīng) | 交流100V 1.5kVA |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
| 選項 | 光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置 |
