- 產(chǎn)品
- 供應(yīng)
- 公司
- 新聞
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
武漢某大學(xué)研究中心為了改善 TC4 表面性能, 采用KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層, 提高鈦合金表面耐磨耐腐蝕性能, 提高高溫抗氧性能.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
|
射頻離子源型號 |
RFICP380 |
|
Discharge 陽極 |
射頻 RFICP |
|
離子束流 |
>1500 mA |
|
離子動能 |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
30 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
流量 |
15-50 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
|
長度 |
39 cm |
|
直徑 |
59 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
客戶采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 產(chǎn)生離子束不斷轟擊源極靶材和工件, 工件在離子束轟擊下迅速被加熱至高溫, 源極靶材在轟擊作用下濺射出的合金元素不斷奔向工件表面, 經(jīng)沉積擴(kuò)散過程形成一定厚度的涂層.
運(yùn)行結(jié)果:
1. 具有沉積薄膜速度快, 厚度容易控制等特點(diǎn)
2. 涂層的SEM形貌觀測顯示涂層均勻, 致密, 無明顯孔洞缺陷, 涂層厚度約為10um, 過度層厚度約為3um.
3. 涂層的力學(xué)性能及磨損性能分析顯示, 涂層的臨界載荷達(dá)到81.75N, 遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足工程要求, 涂層與基體結(jié)合良好.
4. 在高溫（500℃）下, TiN的摩擦系數(shù)更穩(wěn)定.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!
