表面電阻測試儀
表面電阻測試儀測量半導(dǎo)體的電阻率
一,測試原理:
當(dāng)四根金屬探針排成一bai條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).
根據(jù)公式可計算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.
表面電阻測試儀儀器操作:
(一)測試前的準(zhǔn)備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關(guān)置于斷開位置;
2,工作方式開關(guān)置于"短路"位置,電流開關(guān)處于彈出位置;
3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;
4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);
5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測試要求.
(二)測試:
首先將電源開關(guān)置于開啟位置,測量選擇開關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時.
1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關(guān)置于"測量"位置,極性開關(guān)置于開關(guān)上方;
2,壓下探頭時,壓力要適中,以免損壞探針;
3,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時應(yīng)對一個樣品多測幾個點,然后取平均值;
4,樣品的實際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進(jìn)行修正.
1. 在測容性負(fù)載阻值時，絕緣電阻測試儀輸出短路電流大小與測量數(shù)據(jù)有什么關(guān)系，為什么?
絕緣電阻測試儀輸出短路電流的大小可反映出該兆歐表內(nèi)部輸出高壓源內(nèi)阻的大小。當(dāng)被測試品存在電容量時，在測試過程的開始階段，絕緣電阻測試儀內(nèi)的高壓源要通過其內(nèi)阻向該電容充電，并逐步將電壓充到絕緣電阻測試儀的輸出額定高壓值。顯然，如果試品的電容量值很大，或高壓源內(nèi)阻很大，這一充電過程的耗時就會加長。其長度可由R內(nèi)和C負(fù)載的乘積決定（單位為秒）。請注意，給電容充電的電流與被測試品絕緣電阻上流過的電流，在測試中是一起流入絕緣電阻測試儀內(nèi)的。絕緣電阻測試儀測得的電流不僅有絕緣電阻上的分量，也加入了電容充電電流分量，這時測得的阻值將偏小。
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