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精密微加工 全自動晶圓激光打標機
適用于硅晶圓的定位十字叉標刻和ID序列號打標
技術參數
自動化程度 自動上下料、自動尋邊定位、自動標刻打碼
加工尺寸 6寸、8寸、12寸
標刻內容 十字定位標記、ID序列號
掃描速度 ≤7000mm/s
標記效率 >80pcs/hr
定位精度 ±2.5μm
重復精度 ±1μm
旋轉精度 30 arc-sec(0.008°)
行程范圍 X:200mm Y:150mm θ:360° Z:25mm
激光波長 355nm/1064nm
重復頻率 20~500kHz
激光功率 20W@30kH
激光安全等級 Class IV
功能特點
◆一鍵式操作全自動運行
◆效率高、速度快
◆非接觸式加工,避免污染
◆長期穩定可靠運行.
◆人性化設計、人機界面友好
◆觸摸屏操控
◆激光器壽命十萬小時免維護
◆光速質量好、聚焦光斑小、能實現精細標記
因產品型號眾多,請與我公司聯系后,針對方案確定準確價格,請知悉。