以高效過(guò)濾器作為送風(fēng)口布滿(mǎn)頂棚,地板全部作成回風(fēng)口,使氣流自上而下地流動(dòng)。在這種潔凈室中,各種工藝操作或塵源被彼此平行的氣流完全隔開(kāi),避免了橫向交叉污染。垂直單向流潔凈室的頂棚高效空氣過(guò)濾器的滿(mǎn)布率不應(yīng)低于60%,換氣次數(shù)400~500次/h,可達(dá)到100級(jí)或比100級(jí)更高的潔凈度。
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