以高效過濾器作為送風口布滿頂棚,地板全部作成回風口,使氣流自上而下地流動。在這種潔凈室中,各種工藝操作或塵源被彼此平行的氣流完全隔開,避免了橫向交叉污染。垂直單向流潔凈室的頂棚高效空氣過濾器的滿布率不應低于60%,換氣次數400~500次/h,可達到100級或比100級更高的潔凈度。
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