ISB井口機(jī)工ILS-350S-H10復(fù)合功能型全向定位臺

ISB井口機(jī)工ILS-350S-H10復(fù)合功能型全向定位臺

ISB井口機(jī)工ILS-350S-H10復(fù)合功能型全向定位臺

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ILS-350S-H10 是 ISB 井口機(jī)工面向FPD G8/G10 大型基板、半導(dǎo)體 300 mm 晶圓的潔凈室定位單元，屬于 ILS 系列350 kg 重載鎖定 + 自復(fù)位復(fù)合功能型全向定位臺，具備 350 kg 重載、±30 mm 全向行程、潔凈兼容、氣壓鎖定 / 負(fù)壓解鎖 + 彈簧自動復(fù)位 核心特性，用于大型卡匣的360° 全向微調(diào) + 精準(zhǔn)鎖定 + 自動復(fù)位，適配面板 / 半導(dǎo)體產(chǎn)線的重載高精度對接與緩沖定位。

一、核心定位與基礎(chǔ)參數(shù)

1. 基本信息

• 品牌：ISB 井口機(jī)工制作所（IGUCHI）
• 型號：ILS-350S-H10（S=Stopper 鎖定型，H=Home 自復(fù)位型，10 = 彈簧復(fù)位規(guī)格）
• 類型：潔凈室專用重載全向定位臺（Positioning Stage）
• 核心功能：重型卡匣360° 全向滑動定位 + 氣壓驅(qū)動鎖定 / 負(fù)壓解鎖 + 彈簧驅(qū)動自動復(fù)位
• 適用場景：FPD（G8/G10）、半導(dǎo)體、光伏等 Class 100–1000 潔凈室

2. 核心規(guī)格（標(biāo)準(zhǔn)型）

二、核心產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 全向平滑滑動，定位零阻力

• 內(nèi)置ISB 精密萬向球軸承（イグチベアー），360° 全向滑動，摩擦系數(shù)≤0.02，單人可輕松推動重載卡匣，定位精準(zhǔn)無卡頓。
• 滑動行程 ±30 mm，滿足大型卡匣在產(chǎn)線緩沖工位的X/Y 軸微調(diào)，適配不同設(shè)備對接精度要求。
• 結(jié)構(gòu)設(shè)計，無外露運(yùn)動部件，避免粉塵產(chǎn)生，適配潔凈室環(huán)境。

2. 鎖定 + 復(fù)位雙優(yōu)，定位高效可靠

• 氣壓鎖定機(jī)構(gòu)：卡匣推送至目標(biāo)位置后，正壓驅(qū)動自動鎖定，防止意外位移，保障產(chǎn)線安全。
• 負(fù)壓解鎖 + 彈簧復(fù)位：取走卡匣時，負(fù)壓驅(qū)動解鎖，彈簧驅(qū)動上板自動復(fù)位，等待下一次作業(yè)，流程高效。
• 適配潔凈室標(biāo)準(zhǔn)氣動回路，氣壓接口 M6，集成便捷，可靠性高。

3. 重載 + 潔凈雙優(yōu)，適配高端產(chǎn)線

• 350 kg 承重，可承載 G8/G10 大型玻璃基板卡匣，滿足面板行業(yè)重載需求。
• 主體鋁合金陽極氧化，萬向球采用 SUS304，耐磨、抗腐蝕、低發(fā)塵，通過潔凈室兼容性測試。
• 表面無尖銳邊角，易清潔、無積塵死角，符合半導(dǎo)體 / FPD 產(chǎn)線嚴(yán)苛衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。

4. 緊湊輕量化，安裝靈活

• 體積小巧、重量僅 3.8 kg，可密集排布于產(chǎn)線緩沖工位，節(jié)省空間。
• 底部標(biāo)準(zhǔn)安裝孔，螺栓直接固定，無需復(fù)雜工裝，安裝 / 拆卸便捷，便于產(chǎn)線改造與升級。
• 可水平 / 傾斜安裝，適配不同產(chǎn)線布局，靈活性極強(qiáng)。

5. 長壽命、低維護(hù)，降本增效

• 萬向球軸承免潤滑設(shè)計，內(nèi)部填充長效潤滑脂，維護(hù)周期≥10000 小時，幾乎無需日常保養(yǎng)。
• 核心部件高硬度耐磨材質(zhì)，使用壽命是普通定位臺的 2–3 倍，長期使用更經(jīng)濟(jì)。
• 機(jī)械 + 氣動控制，無電氣部件，故障率極低，大幅降低產(chǎn)線停機(jī)風(fēng)險與維護(hù)成本。

ILS-350S-H10