ISB 井口機(jī)工 ILS-150S氣壓鎖定型全向定位臺(tái)

ISB 井口機(jī)工 ILS-150S氣壓鎖定型全向定位臺(tái)

ISB 井口機(jī)工 ILS-150S氣壓鎖定型全向定位臺(tái)

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一、核心定位與基礎(chǔ)參數(shù)

1. 基本信息

• 品牌：ISB 井口機(jī)工制作所（IGUCHI）
• 型號(hào)：ILS-150S（S=Stopper 鎖定型，氣壓鎖定）
• 類型：潔凈室專用全向定位臺(tái)（Positioning Stage）
• 核心功能：卡匣 / 基板360° 全向滑動(dòng)定位 + 氣壓驅(qū)動(dòng)鎖定 / 負(fù)壓解鎖
• 適用場(chǎng)景：FPD（G7/G8）、半導(dǎo)體、光伏等 Class 100–1000 潔凈室

2. 核心規(guī)格（標(biāo)準(zhǔn)型）

二、核心產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 全向平滑滑動(dòng)，定位零阻力

• 內(nèi)置ISB 精密萬(wàn)向球軸承（イグチベアー），360° 全向滑動(dòng)，摩擦系數(shù)極低（≤0.02），單人即可輕松推動(dòng)重載卡匣，定位精準(zhǔn)無(wú)卡頓。
• 滑動(dòng)行程 ±15 mm，滿足卡匣在產(chǎn)線緩沖工位的X/Y 軸微調(diào)，適配不同設(shè)備對(duì)接精度要求。
• 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，無(wú)外露運(yùn)動(dòng)部件，避免粉塵產(chǎn)生，完美適配潔凈室環(huán)境。

2. 氣壓鎖定，定位后穩(wěn)如磐石

• S 型專屬氣壓鎖定機(jī)構(gòu)：卡匣推送至目標(biāo)位置后，正壓驅(qū)動(dòng)自動(dòng)鎖定，將上板鎖定，防止意外位移，保障產(chǎn)線安全。
• 負(fù)壓解鎖：取走卡匣時(shí)，負(fù)壓驅(qū)動(dòng)解鎖，上板自動(dòng)復(fù)位，等待下一次作業(yè)，流程高效。
• 適配潔凈室標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)回路，氣壓接口 M6，集成便捷，可靠性高。

3. 重載 + 潔凈雙優(yōu)，適配高端產(chǎn)線

• 150 kg 超大承重，遠(yuǎn)超同類小型定位臺(tái)，可承載 G7/G8 大型玻璃基板卡匣，滿足面板行業(yè)重載需求。
• 主體鋁合金陽(yáng)極氧化，萬(wàn)向球采用 SUS304，耐磨、抗腐蝕、低發(fā)塵，通過潔凈室兼容性測(cè)試。
• 表面無(wú)尖銳邊角，易清潔、無(wú)積塵死角，符合半導(dǎo)體 / FPD 產(chǎn)線嚴(yán)苛衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。

4. 緊湊輕量化，安裝靈活

• 體積小巧、重量?jī)H 1.8 kg，可密集排布于產(chǎn)線緩沖工位，節(jié)省空間。
• 底部標(biāo)準(zhǔn)安裝孔，螺栓直接固定，無(wú)需復(fù)雜工裝，安裝 / 拆卸便捷，便于產(chǎn)線改造與升級(jí)。
• 可水平 / 傾斜安裝，適配不同產(chǎn)線布局，靈活性極強(qiáng)。

5. 長(zhǎng)壽命、低維護(hù)，降本增效

• 萬(wàn)向球軸承免潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，內(nèi)部填充長(zhǎng)效潤(rùn)滑脂，維護(hù)周期≥10000 小時(shí)，幾乎無(wú)需日常保養(yǎng)。
• 核心部件高硬度耐磨材質(zhì)，使用壽命是普通定位臺(tái)的 2–3 倍，長(zhǎng)期使用更經(jīng)濟(jì)。
• 氣動(dòng)控制，無(wú)電氣部件，故障率極低，大幅降低產(chǎn)線停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)與維護(hù)成本。

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 面板產(chǎn)線緩沖工位：G7/G8 玻璃基板卡匣在曝光、蝕刻、清洗、檢測(cè)等工序間的緩沖定位與暫存，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)對(duì)接。
2. 半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)線：晶圓卡匣在光刻、刻蝕、薄膜沉積等設(shè)備間的微調(diào)定位，保障設(shè)備對(duì)接精度。
3. 光伏 / 電子制造：太陽(yáng)能硅片、顯示面板、精密電子零部件的潔凈室搬運(yùn)定位，防止劃傷與位移。
4. 產(chǎn)線升級(jí)改造：替代傳統(tǒng)滾輪 / 滑塊，提升定位精度與效率，適配老舊產(chǎn)線智能化升級(jí)。

ILS-150S