ISB井口機(jī)工ILS-150基板定位臺

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核心規(guī)格參數(shù)

核心產(chǎn)品特點

1. 360° 全向移動，重載平穩(wěn)

• 內(nèi)置高精度萬向球單元，實現(xiàn)水平 360° 無死角順滑移動，定位精準(zhǔn)、無卡頓。
• 150 kgf 重載能力，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)萬向球平臺，適配大型 G7/G8 玻璃基板盒。
• 低摩擦、低噪音，移動阻力極小，大幅降低 AGV / 機(jī)械手負(fù)載。

2. 自動復(fù)位 + 可選鎖定，高效穩(wěn)定

• 無負(fù)載自動復(fù)位：基板移走后，可動部瞬間回原點，無需人工 / 外力復(fù)位，節(jié)拍更快。
• ILS-150S 氣壓鎖定：正壓鎖死、負(fù)壓解鎖，定位后零位移，適合高精度暫存 / 檢測工位。
• 結(jié)構(gòu)緊湊，安裝高度低，適配產(chǎn)線有限空間。

3. 潔凈防靜電，適配高端制程

• 全金屬 + 防靜電材質(zhì)：無粉塵、無金屬屑，滿足Class 1000 潔凈室要求。
• S 型防靜電處理：表面電阻 10?–10? Ω，保護(hù)面板 / 晶圓免受靜電損傷。
• 耐酸堿、耐腐蝕，適配濕制程與清洗環(huán)境。

4. 安裝便捷，免維護(hù)

• 標(biāo)準(zhǔn)法蘭安裝：4×Φ10 孔，快速固定于工作臺 / 輸送線 / 緩沖工位。
• 內(nèi)置自潤滑，無需加油、免維護(hù)，長期穩(wěn)定運(yùn)行。
• 模塊化設(shè)計，易更換、易清潔，降低維護(hù)成本。

ILS-150

自重1.5kg 水平ストローク±15mm使用荷重150kgf

ケースアルミ+アルマイト処理取付フランジアルミ+アルマイト処理可動ステージSUS304その他スプリング復(fù)帰式