鄭州平山銷售日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合電離真空計(jì)SH200-A
特點(diǎn)
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可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)
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小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小(控制器體積縮小56%),成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
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操作性的提高:通過與PC/智能手機(jī)的連接,可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
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更強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容:除模擬輸出規(guī)格(SH200-A)和串行通信規(guī)格(SH200-R)外,還將增加EtherCAT規(guī)格(SH200-E)。
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燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
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壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~5×10-8Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
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可以準(zhǔn)確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí))。
用途
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用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控,包括半導(dǎo)體和電子元件。
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用于具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量,例如in-line式和枚葉式
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高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量