Pro Surf大視場3D輪廓儀德國Polytec
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簡介：
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
   TopMap Pro.Surf系列產品，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結合的CST技術為核心，是一款特點的光學3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學3D輪廓儀集非接觸、大視場、納米級精度和70mm超大掃描范圍等技術特點于一身，能夠滿足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量，此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標準的多種參數分析與評價，如粗糙度、平面度、臺階高度、平行度、波紋度等，廣泛應用于汽車工業、燃油噴射系統、傳動、密封、光學加工、精密半導體及3C行業和航天、航空、國防軍工和科研院所等領域。
典型應用：
半導體：襯底、外延片平坦度和形貌測量，精密器件及傳感器
汽車行業：空氣懸掛組件，精密傳動組件，燃油噴射系統，高壓油泵
密封行業：精密密封表面、泵閥類密封組件
表面工程：摩擦學，涂層厚度，形變分析
3C電子：電子元件平整度，引腳位置，屏幕平面度、厚度均勻性，印刷電路
手表：組件平面度、臺階高度、平行度、輪廓，表鏡
產品亮點：
1.45nm分辨率
單次掃描視場高達45x34mm，支持視場拼接拓展至228x221mm
橫向分辨率低至14.3微米
非接觸、垂直掃描測量模式，掃描范圍達70mm
沒有外置物鏡，無碰撞風險
磁懸浮式掃描導軌，無損耗
高精度：
典型平面度偏差優于75納米
典型臺階高度偏差優于0.026%（評估≥0.45mm臺階）
高重復性：
平面度重復性偏差優于5納米
臺階高度重復性優于0.011%（評估≥0.45mm臺階）
支持深孔和盲孔測量
支持隔窗測量
支持在線集成方案

德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀 
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀 
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀

關于 Polytec已停產的型號（具體停產時間可能因產品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統，部分功能由新系統替代）
【2. 工業傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）