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PSV QTec超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
負(fù)責(zé)人：吳經(jīng)理 132.4667.5433
【一】單點(diǎn)式激光測(cè)振儀
CLV-2534-3激光測(cè)振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測(cè)振儀
VFX-F-110激光測(cè)振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測(cè)振儀
【二】全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測(cè)振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測(cè)振站
PSV-500-3D 掃描式激光測(cè)振儀
PSV-500 掃描式激光測(cè)振儀
MPV-800 多點(diǎn)式激光測(cè)振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測(cè)振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測(cè)振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測(cè)振儀
HSV-100 高速型激光測(cè)振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測(cè)振儀
【四】顯微式激光測(cè)振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀
MSA-600 顯微式激光測(cè)振儀
MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀
MSA-050顯微式激光測(cè)振儀
【五】形貌測(cè)量?jī)x
Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
德國(guó)SUSS MicroTec主要產(chǎn)品：
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)和噴霧涂膠機(jī)：
自動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動(dòng)涂膠與顯影機(jī)：RCD8、ECD8
手動(dòng)涂膠機(jī)與顯影機(jī)：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機(jī)
JETxSM24噴墨打印機(jī)、JETx噴墨打印機(jī)、LP50打印機(jī)
三、光刻機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)
全自動(dòng)：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動(dòng)：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動(dòng)：MJB4
四、測(cè)量系統(tǒng)
全自動(dòng):DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動(dòng)貼片機(jī)
全自動(dòng)：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動(dòng)： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動(dòng)：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動(dòng)：HMx Serie
七、投影掃描光刻機(jī)
全自動(dòng)：DSC300 Gen3
