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E2M28EDWARD真空干泵維修技術高

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產品價格: 350/人民幣 
最后更新: 2025-09-25 08:53:40
產品產地: 江蘇常州市
發(fā)貨地: 本地至全國 (發(fā)貨期:當天內發(fā)貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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  • 公司基本資料信息
    • 常州凌科自動化科技有限公司
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    產品詳細說明
    輪分子泵,檢漏儀,真空計和組件,可用于優(yōu)化從輕載到重載過程的整個應用程序的性能。應用包括:負載鎖定,傳送室,計量,光刻和EUV光刻,PVD工藝,PVD預清洗,快

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    真空泵漏氣故障原因

    1、密封件失效: 真空泵的密封件,如O型圈、密封墊或密封膠可能老化、損壞或安裝不當,導致漏氣。

    2、泵內部葉片損壞: 真空泵內部的葉片或轉子可能因為磨損或損壞導致漏氣。

    3、連接失效: 真空泵與管道連接處可能存在松動或密封不嚴,導致氣體泄漏。

    4、泵本體損傷: 真空泵本體可能出現裂紋或損傷,導致漏氣。

    5、油密封損傷: 如果是油封式真空泵,油密封可能因為損壞或老化導致漏氣。

    6、系統(tǒng)漏氣: 除了真空泵本身,連接的管道或系統(tǒng)其他部分也可能存在漏氣點。

    7、空度不足: 當環(huán)境或系統(tǒng)本身真空度不足時,會導致真空泵漏氣。

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    真空泵漏氣維修方法

    1、檢查密封件: 檢查真空泵的密封件,如O型圈、密封墊、密封膠等,確保它們完好無損。如有損壞,需要更換密封件。

    2、檢查內部部件: 檢查真空泵內部的葉片、轉子和渦輪等部件,排查是否有磨損、松動或損壞,并對其進行修復或更換。

    3、檢查連接部分: 檢查真空泵與管道連接處是否松動或有密封不嚴的情況,如果發(fā)現問題,需要重新安裝或更換密封件。

    4、泵本體檢查: 仔細檢查真空泵本體是否存在裂紋、損傷或漏氣點,必要時進行修復或更換關鍵部件。

    5、油密封檢查: 如果是油封式真空泵,需要檢查油密封的狀態(tài),確保其完好,并及時更換損壞的油密封件。

    6、系統(tǒng)漏氣檢查: 對整個系統(tǒng)進行漏氣測試,排查管道、接頭及其他連接處是否存在漏氣,確保全部連接處無漏氣。

    7、維護和保養(yǎng): 對真空泵進行定期維護和保養(yǎng),包括更換密封件、潤滑油,清潔濾芯等。
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