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不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的真空泵，應請用戶先行清洗，并告知必要的防護措施，以保障維修人員的健康。5、干式真空泵故障分
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真空泵不能正常啟動原因

1、電源問題：電源線接觸不良、電源開關故障、電源線路故障或供電不足可能導致真空泵無法啟動。

2、電機故障：電機故障、電機繞組短路或開路、電機軸承損壞等問題可能引起真空泵無法啟動。

3、控制系統故障：控制系統中的繼電器、開關或接線故障可能導致真空泵無法正常啟動。

4、閥門問題：如果真空泵有相關的閥門控制系統，閥門故障可能影響其啟動。

5、環境因素：過載、過熱或工作環境溫度過高可能導致真空泵無法啟動。

6、電路故障：電路板故障、連接線路短路或斷路等問題可能導致真空泵無法啟動。

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真空泵不能正常啟動維修方法

1、檢查電源供應: 確保電源線連接牢固，電源開關打開，并且電源供應正常。檢查電源線路和插座，排除電源問題。

2、檢查電機: 檢查真空泵電機是否存在故障，例如是否會發出異常響聲或過熱。檢查電機的零部件，如繞組和軸承，以確保其完好。

3、檢查控制系統: 檢查控制系統中的繼電器、開關和控制面板，確保連接正常，元件無損壞。

4、環境檢查: 確保真空泵工作環境溫度適宜，及時排除過熱、過載等因素對正常啟動的影響。

5、檢查閥門: 如果存在相關的閥門控制系統，檢查閥門是否處于正確的位置，不會影響正常啟動。

6、檢查電路: 檢查真空泵的電路板和連接線路，排除可能的短路、斷路或接觸不良等問題。

7、維修或更換故障部件: 根據發現的問題，逐一修復或更換出現故障的部件。可能需要更換電機、繼電器、開關等配件。

中束產生的熱量使金屬聚結。通過使用安裝在真空腔室中的真空泵，可以實現EBW工藝，該真空腔室容納電子束槍和要連接的金屬。動能在撞擊金屬時轉化為熱量，立即將其蒸發到
0 x 10-2 /2.3 x 10-23.0 x 10-2 /2.3 x 10-23 x 10-2 /2.3 x 10-23 x 10-2 /2.3 x 10-2極限壓力 GB II(mbar/ Torr)1.2 x 10-1 / 9.1 x 10-21.0 x 10-1 / 7.5 x 10-26 x 10-2 / 4.6 x 10-26 x 10-2 / 4.6 x 10-2極限壓力（帶 F
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其中包括：渦輪分子泵，低溫泵，混合渦輪分子泵，旋轉葉片泵，干式半導體泵，干式渦旋真空泵和旋轉活塞泵。回到頂部分析儀器高性能真空泵對分析儀器的需求比以往任何時候都大。電子顯微鏡（SEM，TEM），聚焦離子束系統（FIB）和表面分析現代聚焦束系統（例如SEM，TEM和FIB）利用將電子或離子投射到微觀樣品上的色譜柱進行分析。渦輪分子泵是現代聚焦束系統中的關鍵組件，因為它們可以快速，無油地抽空大型樣品室
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