PFA氣體沖擊瓶因其高純度、耐腐蝕和耐高溫特性，廣泛應用于半導體行業(yè)的氣體采樣和分析。
PFA氣體沖擊瓶的特點
化學惰性：PFA材料對強酸、強堿和有機溶劑具有極強抵抗力，適合高純度氣體采樣。
低吸附性：可減少氣體分子在瓶壁的吸附，確保采樣數(shù)據(jù)準確性。
耐溫范圍廣：通常可承受-200°C至260°C的溫度，適用于極端環(huán)境。
透明性：便于觀察瓶內(nèi)氣體狀態(tài)或液體樣品。
半導體行業(yè)的具體用途
工藝氣體監(jiān)測：用于采集蝕刻、沉積等工藝中的特種氣體（如NF?、SF?）。
潔凈室空氣分析：檢測超凈環(huán)境中的微量污染物（如VOCs、顆粒物）。
尾氣處理驗證：評估廢氣處理系統(tǒng)的效率，確保符合環(huán)保標準。
選型與使用注意事項
容量選擇：常見規(guī)格為250mL至1L，需根據(jù)采樣流量和時長確定。
密封性測試：使用前需進行氦檢漏等測試，避免氣體泄漏。
清潔方法：建議用高純氮氣吹掃或酸洗（如10%硝酸浸泡），避免交叉污染。
