KASHIYAMA樫山真空泵SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
適用于大尺寸晶圓和FPD 通過組合提供大容量。也可按需提供大于 150kL/分鐘的容量。 更短的循環時間 在大氣壓下具有大容量,可以實現高速泵送,在大型L/L腔室中效果
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