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氫氧化鋯在其他工業領域的用途如下:
?催化劑?:加速石油裂解、催化重整、芳香族烴加氫、異構化等反應,提高產量和質量。
?填充劑?:用于塑料、橡膠、離子交換樹脂等行業。
?除臭劑、顏料?:用于相關產品制備。
氫氧化鋯在多晶硅生產中具有重要作用,主要體現在深度提純吸附和化學機械拋光兩個方面:
深度提純吸附:在多晶硅生產中,氫氧化鋯是一種高效的深度提純吸附劑。多晶硅生產通常采用西門子法,以三氯氫硅為原料,通過氫氣還原在硅芯上沉積多晶硅。氫氧化鋯可以吸附去除三氯氫硅原料中的金屬離子和部分非金屬雜質,如硼、磷等,為后續還原工序提供高純度原料,最終保障多晶硅的電學性能和產品質量。
化學機械拋光:在多晶硅的加工過程中,需要進行化學機械拋光(CMP)來獲得平整的表面。氫氧化鋯可以作為拋光漿料中的磨料成分之一,它與氧化鋁、二氧化硅等其他磨料配合使用,通過化學反應和機械研磨的共同作用,去除多晶硅表面的多余材料,實現表面平坦化。氫氧化鋯可以提供合適的研磨能力,有助于提高拋光效率和表面質量,使多晶硅表面的粗糙度降低,滿足后續工藝要求,例如為半導體制造中的光刻等工藝提供良好的表面基礎