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PFA氟化氫裝置是一種專用于氟化氫（HF）及含氟化合物處理的特種設(shè)備，其核心優(yōu)勢(shì)在于PFA（全氟烷氧基樹脂）材料的強(qiáng)耐腐蝕性、高純度和耐溫性，適用于半導(dǎo)體、化工及核工業(yè)等領(lǐng)域的高純HF制備與回收。
一、核心構(gòu)成
?反應(yīng)單元?
?PFA反應(yīng)瓶?：圓底/平底燒瓶（250mL-50L），可選單頸、三頸或四頸設(shè)計(jì)，帶液位計(jì)觀察窗，接口標(biāo)準(zhǔn)為17/19/24口，螺紋密封便于拆洗。
?蒸餾模塊?：PFA夾套反應(yīng)釜或圓底燒瓶，配套PFA蒸餾頭、尾接管，支持高溫蒸餾（≤260℃）與真空操作。
?冷凝單元?
?PFA冷凝管?：蛇形或直形設(shè)計(jì)，可連接液氮或乙醇-干冰冷媒實(shí)現(xiàn)-80℃低溫冷凝。
?收集與輔助單元?
?接收裝置?：PFA接收瓶（100mL-3L）或FEP試劑瓶，帶放液閥，透明材質(zhì)便于觀察。
分液系統(tǒng)?：恒壓滴液漏斗（PFA/FEP材質(zhì)）或分液漏斗，支持惰性氣體保護(hù)，避免污染。
?精餾塔?（高純需求）：PFA填料塔，理論塔板數(shù)達(dá)50級(jí)以上，搭配再沸器深度提純HF。
二、核心特性
?耐腐蝕性?：耐受HF、王水、強(qiáng)酸強(qiáng)堿，無(wú)金屬離子析出（如Na/Fe/Cu析出<0.1ppb），滿足半導(dǎo)體級(jí)HF雜質(zhì)控制（<0.5ppt）。
?耐溫性?：適用-200℃至+260℃，高溫抗蠕變優(yōu)于PTFE。
?透明可視?：半透明材質(zhì)便于觀察液位、反應(yīng)狀態(tài)及氣泡現(xiàn)象。
三、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體制造?：電子級(jí)HF（金屬雜質(zhì)<1ppb）提純，用于12英寸晶圓清洗。
氟化工?：含氟化合物合成、廢HF回收及核燃料處理。?
制藥/石油?：含氟有機(jī)物冷凝回收，提升產(chǎn)品純度。
