超薄晶圓激光切割微流控設備——CO?激光雕刻切割機微流控精密制造新紀元
微流控芯片的精密化與微型化趨勢，對超薄晶圓（<100μm）加工提出了近乎苛刻的要求——傳統工藝因熱損傷、崩邊及污染風險，難以滿足高集成度、高生物相容性的需求。超薄晶圓激光切割微流控設備（CO?激光雕刻切割機）以“零接觸、零熱損”為核心，專為微流控行業研發，實現超薄晶圓與高分子材料的亞微米級精密加工，為生命科學、精準醫療及體外診斷領域提供全流程智造方案。
技術突破：超薄晶圓加工的革命性升級
零熱損切割技術
采用高功率CO?激光器與動態熱控算法，切割過程無熱擴散，切割線寬小，支持50-200μm超薄晶圓的無損加工，適配微流控芯片的高密度集成需求。
多材料全流程兼容
兼容PDMS、PMMA、玻璃基材及生物降解薄膜，單臺設備完成切割、打孔、微雕刻及封裝鍵合輔助工藝，無縫對接EVG晶圓鍵合系統，確保芯片封裝的精度與氣密性。
AI驅動智能工藝庫
內置200+微流控芯片模板（如液滴生成、類器官培養），支持AutoCAD直接輸出，AI算法實時優化切割路徑，復雜圖形加工效率提升40%，良品率≥99.5%。
生物級潔凈保障
非接觸式加工結合雙級HEPA過濾系統，切割邊緣粗低，滿足芯片類、活細胞實驗等高敏感場景需求。
以激光之刃，雕琢生命科學未來！
無論是攻克超薄芯片的科研壁壘，還是布局微流控產業化藍圖，超薄晶圓激光切割微流控設備以“零損傷×高集成×智能化”的硬核實力，成為行業創新的核心引擎。
