德國HG磁性表座105559用于半導體設備制造測量
鎖模力產生 :液壓
物料:陽極氧化鋁拋光易切削鋼 塑料星形旋鈕
球關節臂 : M6內螺紋
球關節腳 : M10外螺紋
保持力的標準應用 :6KG
保持電源安全相關應用:4KG
L1 :254mm
L2 :296mm
半徑:550mm
標準磁鐵(LxWxH):80x50x55 mm
粘合力標準磁鐵 :1000 N可切換
測量臺 :直徑8mm H7和燕尾
精密測量與定位
晶圓尺寸測量:在半導體制造中,晶圓的尺寸精度至關重要。將百分表或千分表通過 HG 磁性表座 105559 固定在晶圓檢測設備上,能精確測量晶圓的直徑、厚度等參數,確保晶圓符合生產工藝要求。由于磁性表座具有穩定的吸附力和靈活的調節功能,可快速準確地將測量表頭定位到晶圓的特定位置,提高測量效率和精度。
芯片封裝定位:在芯片封裝過程中,需要將芯片精確地放置在封裝框架或基板上。HG 磁性表座可固定光學定位系統或微型傳感器,對芯片和封裝載體進行精確的位置檢測和校準,確保芯片封裝的精度和質量,減少封裝偏差,提高產品的可靠性。
設備調試與校準
光刻機校準:光刻機是半導體制造中的核心設備,其光路系統和曝光平臺的精度直接影響芯片的光刻質量。HG 磁性表座可用于固定激光干涉儀、角度測量儀等校準儀器,方便在光刻機調試過程中對光路的準直度、曝光平臺的平整度和運動精度等進行精確測量和校準,保證光刻機的高性能運行。
刻蝕設備調試:刻蝕工藝需要精確控制刻蝕深度和均勻性。通過 HG 磁性表座將深度測量儀或表面輪廓儀固定在刻蝕設備的腔室內,可在設備調試和工藝優化過程中,實時測量刻蝕后的晶圓表面形貌,為刻蝕工藝參數的調整提供準確依據,確保刻蝕工藝的穩定性和一致性。
質量檢測與監控
晶圓表面缺陷檢測:在晶圓制造過程中,需要檢測晶圓表面的微小缺陷,如劃痕、顆粒等。HG 磁性表座可固定顯微鏡或視覺檢測系統,通過靈活調整檢測設備的位置和角度,對晶圓表面進行全面、細致的檢測,及時發現表面缺陷,有助于提高晶圓的良品率。
薄膜厚度測量:半導體器件制造中會涉及多種薄膜的沉積工藝,薄膜厚度的均勻性和準確性對器件性能有重要影響。利用 HG 磁性表座固定薄膜厚度測量儀,如橢偏儀或臺階儀,可方便地對晶圓上不同位置的薄膜厚度進行測量和監控,確保薄膜厚度符合工藝要求,為工藝調整提供數據支持
德國HG磁性表座105559用于半導體設備制造測量