德國ADL加速器電源GG03輸出電壓0-1000VDC用于離子束加工
德國 ADL GG03 是一款專為工業應用設計的高精度直流電源,隸屬于 Analoge und Digitale Leistungselektronik GmbH(ADL)公司的加速器電源系列,主要用于離子源、等離子體工藝及薄膜涂層設備。以下是其核心功能特點:
1. 精準的輸出控制與寬范圍適配
高電壓輸出能力:
輸出電壓范圍覆蓋0-1000V DC,最大輸出電流為30mA,功率可達30W。支持連續可調,滿足離子束加工、濺射鍍膜等對電壓穩定性要求極高的場景。
輸入兼容性:
輸入電壓為230V AC(50/60Hz),適配全球主流電網標準,無需額外降壓設備即可直接接入工業環境。
輸出精度:
電流 / 電壓控制精度達標稱值的**±1%**,確保工藝參數的一致性,尤其適用于半導體制造等對精度敏感的領域。
2. 智能化控制與靈活接口
多協議通信能力:
標配AS4、Profibus、EtherCat、RS232/485等多種工業通信接口,可無縫集成至自動化產線或遠程監控系統。支持通過外部控制信號(如 0-10V 模擬量或數字信號)遠程調節輸出參數。
操作模式:
提供手動面板操作和外部接口控制雙模式。用戶可通過前面板的 3? 位數字顯示屏實時監控電流、電壓及功率,并通過旋鈕快速設定參數;也可通過外部接口實現全自動流程控制。
自動化功能:
內置全自動電弧處理算法,可檢測并抑制異常放電,確保濺射或離子束工藝的穩定性,減少人工干預。
3. 高可靠性與防護設計
堅固耐用的結構:
采用金屬外殼和模塊化設計,通過機械強度測試,可承受工業環境中的振動和沖擊。設備重量約11kg,尺寸為 218×132.5×560mm,緊湊的體積便于集成到空間有限的設備中。
高效散熱與噪音控制:
內置風扇強制風冷,最大環境溫度支持40℃,噪音水平低于70 分貝 (A),滿足車間環境的噪音限制。
多重保護機制:
具備過流、過壓、過熱保護功能,當檢測到異常時自動切斷輸出并觸發報警。例如,當溫度超過閾值時,系統會通過降低功率或停機散熱來避免元件損壞。
4. 行業適配性與應用場景
核心應用領域:
微電子與半導體:用于離子注入、刻蝕設備的離子源供電,確保晶圓加工的精度和一致性。
光學鍍膜:為濺射設備提供穩定電源,支持玻璃、塑料等基材的高精度涂層工藝。
傳感器制造:適配 ECR(電子回旋共振)離子源,用于納米材料沉積和微機電系統(MEMS)加工。
工藝兼容性:
支持直流濺射、脈沖濺射等多種鍍膜技術,可根據客戶需求定制輸出波形(如單極脈沖),滿足不同材料的沉積要求。
5. 長壽命與維護便捷性
高穩定性設計:
電源內部元件經過嚴格篩選,平均無故障時間(MTBF)長,適合 24 小時連續運行。即使使用超過 20 年,仍可通過更換模塊化組件實現低成本維修。
可維護性:
提供遠程診斷功能,通過通信接口可實時獲取設備狀態信息,減少停機時間。此外,設備支持快速更換易損部件(如風扇、接口模塊),維護流程簡便。
總結
ADL GG03 憑借其高精度輸出、靈活的通信能力及可靠的防護設計,成為工業離子源和鍍膜設備的理想電源解決方案。其模塊化架構和行業適配性,尤其適合需要高穩定性和長壽命的半導體、光學及傳感器制造場景。盡管具體型號(如 GG03 與 GG03.1)的參數差異需參考官方文檔,但該系列電源的技術優勢已通過全球范圍內的實際應用得到驗證
德國ADL加速器電源GG03輸出電壓0-1000VDC用于離子束加工