高純氬是一種純度極高的氬氣（Ar），通常純度在99.999%（5N）及以上，廣泛應用于對氣體純度要求嚴格的領域。以下是關于高純氬的詳細介紹：

1. 基本性質

化學符號：Ar

原子序數：18

狀態：無色、無味、無毒的惰性氣體。

密度：比空氣重（密度約1.784 g/L，標準條件下）。

沸點：-185.8°C（87.3 K）。

化學惰性：幾乎不與其他物質反應，穩定性極強。

2. 純度等級

普通氬氣：純度99.99%（4N），用于一般工業用途。

高純氬：純度≥99.999%（5N），雜質（如O?、N?、H?O、CO?等）含量極低。

超高純氬：純度≥99.9999%（6N），用于半導體、精密分析等。

3. 生產方法

空氣分離法：通過低溫精餾液態空氣提取氬氣，再經吸附、催化脫氧等工藝提純。

純化技術：采用分子篩、鈀催化劑、低溫吸附等方法進一步去除雜質。

4. 主要應用領域

半導體制造：用于晶圓加工、刻蝕、化學氣相沉積（CVD）等，防止材料氧化。

光伏產業：硅片生產中的保護氣。

分析儀器：作為ICP-MS（電感耦合等離子體質譜）、GC（氣相色譜）的載氣。

焊接保護：TIG焊、MIG焊中防止金屬熔池氧化（尤其不銹鋼、鋁合金）。

照明工業：填充節能燈、霓虹燈等。

科研領域：超導體研究、激光技術等。

5. 儲存與運輸

儲存方式：高壓鋼瓶（通常為灰色，標有“氬氣”字樣），常溫下保存。

運輸規范：需符合危險化學品運輸標準，避免撞擊、高溫。

6. 安全注意事項

窒息風險：高濃度氬氣會置換空氣，導致缺氧，需在通風環境中使用。

壓力風險：高壓鋼瓶需防泄漏，避免直接接觸閥門。

惰性特性：雖不燃不爆，但可能加劇其他物質的燃燒（如鎂、鈦等）。