Polytec顯微式激光測振儀MSA-650 IRIS

產品價格：	100/人民幣
最后更新：	2025-10-21 10:25:30
產品產地：	本地
發(fā)貨地：	廣東深圳市 (發(fā)貨期：當天內發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

深圳市現(xiàn)代豪方儀器儀表科技有限公司
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產品詳細說明

MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀Polytec
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀Polytec
吳經理：132.4667.5433

簡介：

MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
使用光學測試硅封裝MEMS器件內部振動特性
MEMS器件的動態(tài)特性測試和機械響應可視化對于產品開發(fā)、故障排除和有限元模型驗證來說非常重要。Polytec公司的MSA顯微式激光測振儀能快速、準確地測試顯微結構的面外振動(OOP)和面內振動(IP)。全新的MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀甚至可以透過完整的微型硅密封器件進行測試，如慣性傳感器，MEMS麥克風，壓力傳感器等。
典型應用
· 慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀
· 微機電傳感器和致動器 (MEMS)
· 打印機噴墨頭
· 壓力傳感器薄膜
· 耳機、微型鏡頭等
亮點
· 通過硅封裝器件的不同層測試MEMS動態(tài)特性、
· 實時面外振動測試，最大帶寬高達25 MHz
· 亞皮米級面外振動位移分辨率
· 易于集成至生產線上的自動測試系統(tǒng)(兼容商用探針臺)
· 頻閃法測試面內振動，帶寬高達2.5 MHz
· 更好地分離器件的各個層
· MEMS器件的最終有限元模型驗證
【更好地分離器件的各個層】
MSA-650 IRIS測試系統(tǒng)包括控制器、帶有額外參考通道的信號發(fā)生器，超高精度紅外光源的光學頭和強大的配套軟件包。其專用的紅外相機和低相干SLD源，是在其透過硅帽獲取完整硅封裝結構在工作條件下的整個層制結構的動態(tài)特性的關鍵。
【硅封裝MEMS器件的模態(tài)測試】
由于硅在波長為1050nm以上的近紅外光譜中是透明的，基于紅外干涉儀的振動測量技術使得獲取密封MEMS器件最真實和最有代表性的振動特性成為可能。
Polytec全新的的且已獲得技術的MSA系統(tǒng)能確保數(shù)據(jù)質量，更好的分離MEMS器件的各個層。MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀內置專用紅外相機和低相干SLD源，是目前世界上唯一能透過硅封裝結構獲取完整動態(tài)特性的系統(tǒng)，其實時面外振動帶寬高達25MHz，面內振動分辨率低至30nm。
【采用領先的振動分析技術】
為了利用激光多普勒振動測量(LDV)對封裝MEMS器件進行深入研究，需要了解硅的光學特性。雖然硅對可見光是不透明的，但它在從波長1050nm起的近紅外范圍內則顯示出良好的透射性。然而也有極限性，在波長為1550 nm時硅的折射率高達3.4，這導致在器件邊界處有相當大的菲涅耳反射。
Poyltec采用低相干光來提高精度，該技術已榮獲國際。與激光相反，超輻射二極管發(fā)出的低相干光只有在干涉儀中的光路與光源的相干長度相等時才會產生干涉，從而將焦點處以外的光排除在外。這一原理被用于白光干涉儀或光學相干層析術，現(xiàn)在用于激光多普勒測振儀(LDV)。對MEMS器件進行掃描測試時，帶寬高達25 MHz，振幅分辨率達100 fm/ Hz。

德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀

關于 Polytec已停產的型號（具體停產時間可能因產品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列（早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列（較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）

德國SUSS MicroTec主要產品：
一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機：
自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8
手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準機
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結合系統(tǒng)、自動貼片機
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)

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