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? ? AWS A20 Research Platform?測(cè)試系統(tǒng)基于聲波傳感原理，可通過石英傳感器頻率變化和導(dǎo)納-頻率特征譜來檢測(cè)芯片表面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)變化，適用于剛性和粘彈性薄膜。具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息。倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評(píng)價(jià)沉積方法。測(cè)試頻率高達(dá)160MHz，靈敏度可達(dá) 0.05ng/cm2。
品牌：AWSensors
型號(hào)：AWS A20?RP
類型：AWS多參數(shù)石英晶體微天平
1、腐蝕研究?
2、電鍍研究?
3、沉積層厚度測(cè)試?
4、鋰離子電池評(píng)價(jià)
5、表面涂層研究?
6、納米粒子吸脫附?
7、離子和溶劑的傳輸?
8、表面活性劑去污能力評(píng)價(jià)
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傳感器通道數(shù) |
1-4?個(gè) |
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頻率范圍 |
5-160MHz |
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頻率分辨率 |
0.001Hz |
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頻率穩(wěn)定性 |
±0.05ppm?，0 - 50°C范圍內(nèi) |
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相位分辨率 |
＜0.001° |
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振幅分辨率 |
0.15mV |
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傳感器晶體 |
5MHz/10MHz，直徑14mm?，AT切割，13倍頻 |
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質(zhì)量靈敏度 |
0.05ng/cm2 |
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耗散靈敏度 |
~3×10-8 |
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溫度范圍 |
20-40°C?，軟件控制，精確度為0.01°C |
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尺寸/重量 |
32×75×45cm（HWD）/25Kg |
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分析模型 |
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????????樣品池采用Q-Lock設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)可控制傳感器上方的壓力以保證高頻率測(cè)試時(shí)的穩(wěn)定性與高低頻諧波的最小失真，同時(shí)操作簡(jiǎn)單方便可避免操作誤差，無論多少次開關(guān)樣品池，測(cè)試都將是重復(fù)可靠的。同時(shí)AWS可提供整套的EQCM實(shí)驗(yàn)方案，通過增加電化學(xué)樣品池與配套電化學(xué)工作站，AWS?Suite?軟件可實(shí)時(shí)同步采集兩者信號(hào)，完美實(shí)現(xiàn)電化學(xué)與QCM的同步測(cè)試。
