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程控擴散爐-廠家直銷-支持定制-全國供應
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產(chǎn)品價格： /人民幣 
最后更新： 2024-09-13 09:30:44
產(chǎn)品產(chǎn)地： 山東青島
發(fā)貨地： 山東青島 (發(fā)貨期：當天內發(fā)貨)
供應數(shù)量： 不限
有效期： 長期有效
最少起訂： 1
瀏覽次數(shù)： 67
詢價　　試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 青島福潤德微電子設備有限公司
    • 岳曉茜小姐 業(yè)務員
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件896337158@qq.com
    • 手機15314229122
    • 電話
    • 傳真
    • 地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園6號
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明
    擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工的硅
    片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、 控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

    擴散爐技術指標：
    可處理硅片尺寸：2—12英寸
    外型形式：臥式1—4管結構
    工作溫度：200℃—1300℃
    恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
    單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃／24h
    溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
    可控降溫速率：5℃／min
    送片裝置：手動推拉
    氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
    氣體控制：手動浮子流量計
    控制方式：程控


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