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CHUCK卡盤,PFA高純耐腐蝕涂層加工,CMP研磨盤耐腐蝕,耐高溫橡膠圈,半導體晶圓花籃

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2024-07-02 15:02:24
產品產地: 上海
發貨地: 浦東新區 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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    產品詳細說明
    halar6514、6014,ectfe,pfa,etfe,pctfe,半導體橡膠圈,半導體晶圓花籃,CMP研磨盤耐腐蝕涂層加工,CHUCK卡盤,半導體研磨盤,50%濃度酸性槽液浸泡涂層不起泡,不脫層
    PPB級超高純半導體防腐專用PFA ,高純,半導體研磨盤PFA閥門,應用石英石晶 圓花籃,半導體清洗槽,半導體設備
    蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導體清洗槽設備涂層加工
    超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優秀防腐性 需要有優秀的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
    產品案例
    8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
    叉手在轉移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉運臂

     純度:PPB級 
    厚度:100-800μm 
    耐酸:濃酸
    硬度:4H
    顏色:黑色,白色,透明。灰色


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