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CHUCK卡盤(pán),PFA高純耐腐蝕涂層加工,CMP研磨盤(pán)耐腐蝕,耐高溫橡膠圈,半導(dǎo)體晶圓花籃

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產(chǎn)品價(jià)格: /人民幣 
最后更新: 2024-07-02 15:02:24
產(chǎn)品產(chǎn)地: 上海
發(fā)貨地: 浦東新區(qū) (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 62
詢(xún)價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 上海雍昌環(huán)保科技有限公司
    • 吳笛小姐 商務(wù)部
    • 會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
    • 郵件wud@micro-jw.com
    • 手機(jī)13061803373
    • 電話(huà)
    • 傳真
    • 地址上海市臨港新區(qū)偉展路175號(hào)
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
    halar6514、6014,ectfe,pfa,etfe,pctfe,半導(dǎo)體橡膠圈,半導(dǎo)體晶圓花籃,CMP研磨盤(pán)耐腐蝕涂層加工,CHUCK卡盤(pán),半導(dǎo)體研磨盤(pán),50%濃度酸性槽液浸泡涂層不起泡,不脫層
    PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA ,高純,半導(dǎo)體研磨盤(pán)PFA閥門(mén),應(yīng)用石英石晶 圓花籃,半導(dǎo)體清洗槽,半導(dǎo)體設(shè)備
    蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工
    超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級(jí), 否則會(huì)污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類(lèi)強(qiáng)酸強(qiáng)堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會(huì)滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過(guò)硬劃傷晶圓
    產(chǎn)品案例
    8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因,部分無(wú)法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
    叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時(shí), 會(huì)造成晶圓劃傷,需要表 面進(jìn)行防護(hù),同時(shí)材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

     純度:PPB級(jí) 
    厚度:100-800μm 
    耐酸:濃酸
    硬度:4H
    顏色:黑色,白色,透明。灰色


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