蘇威哈拉涂層，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,PFA半導體清洗槽設備涂層加工

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最后更新：	2024-06-13 14:54:10
產品產地：	上海
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公司基本資料信息

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產品詳細說明

PPB級超高純半導體防腐專用PFA ，高純PFA閥門，應用石英石晶圓花籃，半導體清洗槽，半導體設備

蘇威哈拉涂層，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導體清洗槽設備涂層加工

超高純度接觸晶圓的防腐材料金屬離子含量低于PPB級，否則會污染晶圓優秀防腐性需要有優秀的耐酸堿性能，抵御各類強酸強堿，防止腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性高厚度和致密性，保證研磨液/清洗液不會滲透進入涂層接觸基體金屬硬度及耐磨性硬度及韌性保證部件可進行二次加工從而保證精度，耐磨性保證了部件的壽命且不能過硬劃傷晶圓
產品案例
8/12寸晶圓花籃由于強度載重原因，部分無法使用超高純注塑材料，改用超高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材料，但表面容易劃傷晶圓，且接觸酸容易造成花籃腐蝕損壞
叉手在轉移晶圓的同時，會造成晶圓劃傷，需要表面進行防護，同時材料需要有防腐性保證飛濺的酸堿不損壞轉運臂

純度：PPB級
厚度：100-800μm
耐酸：氫氟酸+硝酸
硬度：4H

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