Edwards STP-XA4503C英國愛德華磁懸浮分子泵維修,Edwards STP-XA4503C愛德華磁懸浮分子泵進氣法蘭口VF300/ISO320F/VG350,出氣法蘭口KF40,抽速可達到3800-4300 l/s,轉速為24000 rpm, 極限壓力10-7Pa / 10-9mbar,對應的控制器為:Edwards SCU-1600。
STP-XA4503C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵此泵基于新的設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 STP-XA4503C 愛德華磁懸浮渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對氣體都具有更高的吞吐量。