其中,我們通過改良Lam的電感耦合等離子體蝕刻裝置(Lam的注冊商標為TCP),實現(xiàn)了圖12所示的柱的垂直加工(準確地說是89度) 該結(jié)果于2000年被采納,在美國真空學會發(fā)表,并刊登在學術(shù)雜志《Journal of Vacuum Science and Technology》上 圖片 聯(lián)洲電器有限公司是一家做智能儀表,電機軟啟動,軟啟動器,數(shù)顯表的專業(yè)廠家,主要產(chǎn)品有電力儀表,智能儀表,數(shù)顯表,電機軟啟動,軟啟動器等,歡迎訪問!