新聞:河北實驗室氣路安裝氮?dú)夤艿腊惭b

一般信號發(fā)生器的輸出信號地與機(jī)殼大地為共地，MFG-2系列信號發(fā)生器的通道輸出、同步和調(diào)變輸入、輸出的連接器大地都是浮動的，與儀器的機(jī)殼隔離。這些連接器對大地的承受隔離電壓可至±42Vpk(直流+交流峰值)，適用在浮動電路的測試，可以多臺儀器并行輸出使用而無需考慮接地參考的問題。MFG-2系列信號源的隔離通道設(shè)計在實驗教學(xué)中有很多應(yīng)用，下面以橋式整理實驗為例作簡要介紹。橋式整流的電路如圖所示：根據(jù)二極管的單向?qū)щ娦裕?dāng)電路加載一個弦波信號后，經(jīng)過電路的整流，弦波信號的負(fù)半周期的波形將被反轉(zhuǎn)到正半周期。
一、集中供氣系統(tǒng)一般有高壓鋼瓶、氣體切換裝置、減壓裝置、閥門、管線、過濾器、報警器、終端箱、調(diào)節(jié)閥等部分組成。

二、集中供氣的特點：

經(jīng)濟(jì)性：建設(shè)一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實驗室空間，更換氣瓶時不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。因為使用同一氣體的所有點都來自于同一氣源，所以使用者只需要管理較少的鋼瓶，支付較少的鋼瓶租金。此種供氣方式終會減少運(yùn)輸費(fèi)用，減少退還給氣體公司空瓶中的余氣量，達(dá)到經(jīng)濟(jì)適用的目的。

安全性：氣源集中存儲供應(yīng)，保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。

三、施工準(zhǔn)備

施工人員在施工前應(yīng)認(rèn)真核對施工設(shè)計圖紙，按照圖紙技術(shù)要求組織施工，嚴(yán)格貫徹執(zhí)行有關(guān)的規(guī)程、規(guī)范及質(zhì)量檢驗評定標(biāo)準(zhǔn)，有變動更改處與設(shè)計人員及時辦理設(shè)計變更洽商，不隨意更改設(shè)計圖紙，重點施工部位應(yīng)進(jìn)行詳細(xì)的施工技術(shù)交底。

施工隊伍進(jìn)入施工現(xiàn)場后，聽從發(fā)包方的統(tǒng)一安排，對現(xiàn)場各種成品做好保護(hù)工作，做好臨時用電的安排，認(rèn)真檢查用電設(shè)備、配電箱、導(dǎo)線。

材料、設(shè)備應(yīng)有出廠合格證和材質(zhì)證明文件、檢測報告，進(jìn)場后會同發(fā)包方進(jìn)行質(zhì)量、規(guī)格、數(shù)量等核驗工作并形成書面檢查記錄。

四、氣路管線敷設(shè)安裝

工程采用的316L不銹鋼管道（BA級），管道的連接方式為氬弧焊連接。

（1）氣瓶閥出口為GB標(biāo)準(zhǔn)的外螺紋形式（G5/8”），為了便于管路系統(tǒng)與氣瓶連接，故從氣瓶閥出口到管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有轉(zhuǎn)換接頭（氣瓶接頭）。
（2）為了在使用過程中容易更換氣瓶，從上述氣瓶接頭到調(diào)節(jié)閥之間應(yīng)設(shè)有耐高壓的高壓螺旋管。
（3）由于氣瓶內(nèi)部的氣體壓力為20-25MPa左右，使用點的壓力較小，氣體壓力有變化，而且數(shù)值差距較大，故應(yīng)在氣瓶出口處設(shè)置一級減壓閥，氣體使用點前設(shè)置二級減壓閥。
（4）每種氣體的系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)有緊急情況下能夠快速切斷供氣的裝置，為了保證開關(guān)系統(tǒng)的方便快捷，本項目的開關(guān)閥采用球閥。
（5）為了防止更換器瓶時外界空氣進(jìn)入管路系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置球閥，球閥與排空管相連，排空管應(yīng)可靠連接大氣，可燃性氣體和助燃性氣體的排空管應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，排空管出口應(yīng)加裝防爆逆止閥以防止回火現(xiàn)象的發(fā)生。
（6）在易燃?xì)怏w氫氣和乙炔系統(tǒng)中，為了防止回火現(xiàn)象的發(fā)生，應(yīng)在系統(tǒng)低壓端（一級減壓閥后）加裝防爆逆止閥。
（7）氣體管路系統(tǒng)出口處，為了便于開關(guān)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)有使用點球閥。
（8）為了保證氣體的純度及管路系統(tǒng)的氣密性，所有管道采用316L不銹鋼管道，內(nèi)表面經(jīng)BA處理。
（9）為了便于維修和更換閥件，同時保證系統(tǒng)的氣密性，管道與閥件的連接，應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接。
（10）管道固定件（管夾）應(yīng)采用耐高溫材料，要求堅固、輕巧、耐用。
（11）所用調(diào)節(jié)閥控制面板、出口點控制面板及所有管道上，都應(yīng)粘貼有氣體成分的氣體標(biāo)識。
（12）瓶固定架應(yīng)采用ABS工程塑料。

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半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測試，芯片封裝和封裝后測試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對Wafer劃片槽（ScribeLine）測試鍵（TestKey）的測試，通過電性參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，metalLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測廠的依據(jù)，測試方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上，ProbeCard另一端接在WAT測試機(jī)臺上，由WATRecipe自動控制測試位置和內(nèi)容，測完某條TestKey后，ProbeCard會自動移到下一條TestKey，直到整片Wafer測試完成。

施工技術(shù)要點：
（1）所有不銹鋼管道兩端用塑料蓋密封，在進(jìn)入施工現(xiàn)場后，安裝前，方可出去塑料蓋。
（2）所有管件在安裝進(jìn)系統(tǒng)前，應(yīng)用高純度氮?dú)膺M(jìn)行三遍以上吹掃。
（3）管道敷設(shè)時應(yīng)注意平直，彎管處采用彎管器，不得徒手彎曲，切斷管道時，用專用切管器操作，嚴(yán)禁用鋸子鋸斷管道。管道切斷后，應(yīng)用專用工具處理斷口，嚴(yán)禁用普通銼刀處理。
（4）在管道的行進(jìn)路線中，每隔1.5米應(yīng)設(shè)置一組管夾。
（5）管道在穿越墻體及樓板處應(yīng)設(shè)置套管，套管與管道之間的間隙應(yīng)采用不然材料填充密封。
（6）所有調(diào)節(jié)閥固定面板、所有出口點固定架及所有管道上，都應(yīng)貼設(shè)標(biāo)有對應(yīng)氣體的成分及濃度的氣體標(biāo)識。
（7）所有系統(tǒng)部件安裝完畢后，應(yīng)用高純度氮?dú)膺M(jìn)行三遍以上的大流量吹掃。
（8）吹掃完畢后，用高純度的氮?dú)膺M(jìn)行撿漏保壓測試，測試壓力應(yīng)為工作壓力的1.5倍。
（9）在整個施工過程中應(yīng)注意施工安全，特別是高空作業(yè)時（在梯子或腳手架上施工），應(yīng)有專人看護(hù)。
5.施工驗收
施工結(jié)束后，我方應(yīng)會同發(fā)包方進(jìn)行集中供氣的系統(tǒng)檢查工作，檢查的內(nèi)容如下：
（1）部件材質(zhì)是否符合合同中材質(zhì)的要求。
（2）所有連接點是否安全可靠。
（3）管道布局是否合理、美觀。
（4）氣體標(biāo)識是否粘貼正確、美觀。
（5）管道連接是否正確。
（6）壓強(qiáng)測試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)猓瑝毫εc工作壓力相等，保證21小時目測所有部件是否有斷裂及變形，管道固定架及管夾是否產(chǎn)生松動及脫落現(xiàn)象。
（7）壓降測試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)猓瑝毫楣ぷ鲏毫Φ?.5倍，保壓24小時后，壓力表讀數(shù)變化是否小于0.25%。
（8）泄漏測試：在系統(tǒng)管道中充入高純氮?dú)猓瑝毫楣ぷ鲏毫Φ?.5倍，在系統(tǒng)所有部件連接處涂抹專用檢漏液，每隔5分鐘檢查是否有氣泡產(chǎn)生，此測試過程持續(xù)30分鐘。
6.質(zhì)量保證措施
6.1氣體管道
（1）本項目安裝施工的工藝應(yīng)符合以下行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定：工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范（GB50235-97）現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范（GB50236-2011）。
（2）在滿足實驗要求的前提下，應(yīng)盡量將各種管道的管線短、彎頭少，以利于節(jié)約材料和減少阻力。
（3）在安裝及檢修過程中盡量不影響試驗工作。
6.2施工驗收階段做到，問題無論大小，及時快速的解決和處理。
6.3在項目施工過程中，嚴(yán)格規(guī)范、明確線管管理人員的責(zé)任，做到責(zé)權(quán)分明，統(tǒng)一管理。施工現(xiàn)場的施工部署、質(zhì)量和施工方法由現(xiàn)場施工員負(fù)責(zé)。材料進(jìn)場檢查、存放和統(tǒng)一調(diào)配由材料員負(fù)責(zé)，施工員配合。施工過程中的質(zhì)量控制、監(jiān)督由專項質(zhì)檢員負(fù)責(zé)。現(xiàn)場安全員負(fù)責(zé)施工過程中的安全教育和監(jiān)督。項目部經(jīng)理主要負(fù)責(zé)對工程各項措施、安排的制定和落實統(tǒng)一進(jìn)行監(jiān)督和管理。
7.安全保證措施
（1）施工人員必須熟知本功臣安全技術(shù)操作規(guī)程，不得違章指揮和違章作業(yè)；在工作中要堅守工作崗位，嚴(yán)禁酒后操作，各施工人員必須經(jīng)過安全培訓(xùn)，考試合格后，方可進(jìn)行上崗操作。新工人實習(xí)生進(jìn)入施工現(xiàn)場應(yīng)進(jìn)行安全教育，經(jīng)考試合格后方可上崗。
（2）從事高處作業(yè)的人員，必須系好安全帶，做到高掛低用。要定期檢查身體，不適宜高處作業(yè)的人員，不得從事高處作業(yè)。高處作業(yè)時衣著要靈便，所有的材料應(yīng)堆放平穩(wěn)，工具應(yīng)隨手放入工具包內(nèi)。上下傳遞物件時禁止拋擲。
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PLL中用到的濾波器限制了支持的基波頻率上限，因此在基波頻率較高時，同步采樣法一般無法支持；同樣是濾波器原因，無法很好濾除低偶次諧波，所以低偶次諧波幅值較大時，PLL就無法同步基波采樣，諧波分析結(jié)果也就完全錯誤。頻率重心法不需要額外濾波器，采樣器件可工作在支持的采樣頻率，使有效譜線拉開的同時提高了支持的諧波頻率范圍，而為了消除泄漏的影響，需要使用更多的數(shù)據(jù)進(jìn)行傅里葉變換。所以頻率重心法引入了數(shù)倍于同步采樣法的計算量。