ICHOR隔膜閥CDV

常規(guī)隔膜閥（CDV）系列包括超高純版本，根據(jù)相關(guān)SEMI規(guī)范制造，具有更高的可靠性。

• 閥座設(shè)計和雙層隔膜可延長循環(huán)壽命并減少顆粒產(chǎn)生。
• 完全清掃潤濕路徑，以減少截留，促進(jìn)吹掃，更大限度地提高Cv，同時更小化內(nèi)部體積。
• 氣動執(zhí)行器可在執(zhí)行時快速響應(yīng)。
• 手動和混合執(zhí)行器指示可視的四分之一圈打開和關(guān)閉位置。
• 可根據(jù)要求提供自定義配置。