多晶硅無塵車間環境設施要求：

1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計，空氣潔凈度等級不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。當設有通往整理廠房的連廊時，連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應與還原爐室的要求一致，宜符合本規范附錄C的規定。

    2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當采用水磨石地面時，應采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

    3 整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區劃分應按工藝要求設置，空氣潔凈度不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

    4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應采取防靜電措施。

廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設計應滿足生產工藝要求。

存在下列情況之一時，空調系統應分開設置：

    1 凈化空調系統與一般空調系統；

    2 空氣中含有易燃、易爆物質；

    3 容易產生交叉污染，對其他工序的產品質量造成影響；

    4 對溫、濕度控制要求差別大；

    5 工藝設備散熱量相差懸殊。

保證空氣潔凈度等級的送風量應符合下列規定：

    1 5級～8級潔凈室送風量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；

    2 生產太陽能級多晶硅的還原爐室，當空調系統為三級過濾時，其送風量應按換氣次數大于或等于6次／h計算。

潔凈室送風可采用集中送風或風機過濾機組送風的方式。

潔凈空調送風、回風和排風系統的啟閉應連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時連鎖程序應相反。

還原車間應獨立設置直流空調送風系統，不應回風。

腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調送風系統不宜回風。

潔凈空氣調節系統的新風集中處理時，新風處理機組應符合下列規定：

    1 新風應經過粗效過濾器處理；

    2 嚴寒地區新風應先預熱；

    3 送風機宜采取變頻措施。

空氣過濾器選用、布置應符合下列規定：

    1 空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級選用過濾器；

    2 空氣過濾器處理風量不應大于額定風量；

    3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段；

    4 亞高效和高效過濾器宜設置在凈化空調系統的末端。

風機過濾機組的設置應符合下列規定：

    1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；

    2 送風量應能調節；

    3 應便于安裝、維修及過濾器更換。

相關規范：

GB 50472-2008 電子工業潔凈廠房設計規范

GB51034-2014多晶硅工廠設計規范

GB 50073-2013 潔凈廠房設計規范

GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質量驗收規范

GB 50019-2015 工業建筑供暖通風與空氣調節設計規范

GB 50243-2016通風與空調工程施工質量驗收規范

GB 50016—2014（2018年版）建筑設計防火規范