現(xiàn)在，我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常使用真空生產(chǎn)的商品，包括平板電視、手機(jī)等電子設(shè)備，核磁共振成像等設(shè)備，從真空干燥的蔬菜到干燥冷凍食品等食品產(chǎn)品。有。在技術(shù)的開(kāi)發(fā)領(lǐng)域，以半導(dǎo)體產(chǎn)品、宇宙機(jī)器為首，從事品開(kāi)發(fā)的大學(xué)、民間企業(yè)的研究室，都廣泛地使用真空泵。

真空是

“指的是充滿壓力比大氣壓低的稀薄氣體的空間狀態(tài)。當(dāng)然，除了宇宙空間，在地面上，密閉容器的氣體會(huì)通過(guò)某種方法強(qiáng)制排出，形成比大氣壓低的壓力狀態(tài)。其手段是使用真空泵。

氣體的狀態(tài)由溫度和壓力來(lái)表示，無(wú)論它是高于或低于大氣壓力。壓力的單位有〔力/面積〕的維度，在單位制中基本是〔N/m2=Pa:帕斯卡〕※1。以往，作為表示真空狀態(tài)的壓力單位〔Torr=mmHg〕被使用，不過(guò)，隨著宇宙空間的工學(xué)利用，為了與工程單位具有共通性，作為表示真空程度的單位〔Pa:帕斯卡〕開(kāi)始被使用了。工學(xué)系單位，以大氣壓狀態(tài)為基準(zhǔn)〔壓力=零〕壓力表示(量規(guī)壓)※2的事多，不過(guò)，真空系根據(jù)表- 1的壓的表示容易明白。在密閉的空間里，無(wú)論降低壓力，氣體分子都不可能消失，所以即使壓力無(wú)限接近于零，也幾乎不可能變成零。如果用量規(guī)壓來(lái)表示的話，會(huì)變成非常難理解的數(shù)值。

※1 1kgf=9.8N(牛頓)

※2壓力容器(鍋爐、氣瓶)等

真空泵

從密閉容器排出氣體時(shí)，與壓縮機(jī)一樣，對(duì)從進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體通過(guò)旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行壓縮后排出到大氣(容積排氣型)。但是，這在低真空的氣體密度大的范圍(粘性流區(qū)域)是有效的，但是在高真空的氣體密度小的氣體分子之間不發(fā)生碰撞的范圍(分子流區(qū)域)，利用了氣體分子單獨(dú)排氣的其他機(jī)制的真需要空泵。(參見(jiàn)表-2)這就是油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。油擴(kuò)散泵加熱油制造油蒸汽，通過(guò)從噴嘴高速噴出的噴射流將氣體分子壓縮到高真空區(qū)域。渦輪分子泵是指高速旋轉(zhuǎn)(3000 ~ 10000轉(zhuǎn))的葉輪將氣體分子吹到高真空區(qū)域后壓縮排氣。在高真空排氣泵中，進(jìn)氣口為高真空區(qū)域，排氣口為低真空區(qū)域，比大氣壓力低，所以在排氣口連接低真空排氣泵(油轉(zhuǎn)泵、干泵等)作為輔助泵，終向大氣排氣。

(參見(jiàn)真空排氣單元一節(jié))

在此，關(guān)于在大學(xué)、民間實(shí)驗(yàn)室等容易使用的油旋轉(zhuǎn)真空泵，將進(jìn)行以下敘述。

油轉(zhuǎn)真空泵

油旋轉(zhuǎn)真空泵也被稱為旋轉(zhuǎn)泵，是一種容易制造出從大氣壓力到中真空(105 ~ 10- 1pa)的真空狀態(tài)的泵。因?yàn)槭呛?jiǎn)單的構(gòu)造容易使用，得到大的排氣速度從大氣壓能啟動(dòng)的泵中排氣效率的形式，從古始被使用，被親切。近年來(lái)，采用電動(dòng)機(jī)直接傳動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)型機(jī)種已經(jīng)進(jìn)一步縮小了體積，但在進(jìn)行化學(xué)實(shí)驗(yàn)時(shí)，采用皮帶傳動(dòng)的低速旋轉(zhuǎn)型機(jī)種的故障較少，因此被重新考慮。

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