MF4300微型氣體質(zhì)量流量計

MF4300系列氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流

量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300工作壓力提高到

1.0MPa， 測 量 范 圍 涵 蓋 0~10SLPM到 0~200SLPM。

2 MF4300提供多種信號輸出，通過RS485或I C數(shù)字通訊接口

可實現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置。MF4300具備LED數(shù)字顯示和

按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。

MF4300系列氣體質(zhì)量流量計是基于美國微機(jī)電系統(tǒng)有

限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣

體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得

到氣體的質(zhì)量流量。

該流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感

器。當(dāng)沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)

定的溫度場分布。當(dāng)有氣體流過時，微熱源周邊會形成新

的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的

溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理

后，通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號輸出。由于不同種類的

氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的溫度變

化不同，所以能測量氣體的質(zhì)量流量。