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KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380用于制備超薄 TEM 樣品

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產(chǎn)品價(jià)格: 13/人民幣 
最后更新: 2020-10-26 13:37:54
產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國(guó)
發(fā)貨地: 本地至全國(guó) (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 101
詢價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(yè)(上海)有限公司
    • 先生 
    • 會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
    • 郵件marketing@hakuto-vacuum.cn
    • 手機(jī)15201951076
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    • 地址上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說明

    普通傳統(tǒng)的制樣減薄方法存在遠(yuǎn)端的薄區(qū)極易彎曲和薄區(qū)厚度不均勻的問題, 因此某機(jī)構(gòu)采用伯東KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 通過交叉減薄的方法制備超薄 TEM 樣品.

     

    交叉減薄

    交叉減薄的過程利用 TEM 樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)來(lái)完成, 如下圖.

    TEM 樣品臺(tái)模型圖

     

     

    伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

    射頻離子源型號(hào)

    RFICP 380

    Discharge 陽(yáng)極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕、沉積和減薄.

     

    運(yùn)行結(jié)果:

    1. 通過利用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 和樣品臺(tái)交叉減薄得到的薄區(qū)非常均勻, 邊緣整齊. 相比較傳統(tǒng)減薄方法, 交叉減薄避免了樣品在傾斜52°和56°減薄時(shí)出現(xiàn)的邊緣收縮問題和遠(yuǎn)端薄區(qū)彎曲問題.

    2. 對(duì)于復(fù)合材料大大降低了位于兩相界面處薄區(qū)的厚度, 提高了樣品質(zhì)量, 提高了制樣的成功率和效率.

     

    伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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