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光學機床激光干涉儀

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-05-24 16:27:23
產品產地: 廣東深圳市
發貨地: 深圳 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 深圳市中圖儀器股份有限公司
    • 羅建先生 
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    • 手機18928463988
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    • 地址深圳市南山區西麗學苑大道1001號南山智園B1棟2樓
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    產品詳細說明

    激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。它采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。


    中圖儀器SJ6000光學機床激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

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    產品配置

    SJ6000光學機床激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

    主要鏡組圖.png

    ▲主要鏡組圖


    其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


    技術規格

    穩頻精度 0.05ppm
    動態采集頻率 50 kHz
    預熱時間 ≤ 6分鐘
    工作溫度范圍 (0~40)℃
    存儲溫度范圍 (-20~70)℃
    環境濕度 (0~95)%RH
    線性測量距離 (0~80)m (無需遠距離線性附件)
    線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃
    角度軸向量程 (0~15)m
    角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
    平面度軸向量程 (0~15)m
    平面度測量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
    直線度軸向量程 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
    直線度測量精度 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
    垂直度軸向量程 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
    垂直度測量精度 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


    產品功能

    (1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

    (2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

    (3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

    (4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

    (5)SJ6000光學機床激光干涉儀具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

    (6)支持手動或自動進行環境補償。


    測量軟件

    (1)友好的人機界面;

    (2)豐富的應用功能模塊;

    (3)向導式的操作流程;

    (4)簡潔化的記錄管理;

    (5)支持中文、英文和俄文界面;

    (6)支持企業專屬模板定制。


    產品應用

    對機床精度再校準.jpg

    對機床精度再校準

    三坐標測量機示值誤差測量.jpg

    三坐標測量機示值誤差測量

    導軌直線度檢測.jpg

    導軌直線度檢測

    光刻機X軸Pitch測量.jpg

    光刻機X軸Pitch測量


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