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光學(xué)機床激光干涉儀

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產(chǎn)品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-05-24 16:27:23
產(chǎn)品產(chǎn)地: 廣東深圳市
發(fā)貨地: 深圳 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 246
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 深圳市中圖儀器股份有限公司
    • 羅建先生 
    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
    • 郵件sales@chotest.com
    • 手機18928463988
    • 電話
    • 傳真
    • 地址深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓
    • 進(jìn)入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說明

    激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。


    中圖儀器SJ6000光學(xué)機床激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?

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    產(chǎn)品配置

    SJ6000光學(xué)機床激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

    主要鏡組圖.png

    ▲主要鏡組圖


    其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


    技術(shù)規(guī)格

    穩(wěn)頻精度 0.05ppm
    動態(tài)采集頻率 50 kHz
    預(yù)熱時間 ≤ 6分鐘
    工作溫度范圍 (0~40)℃
    存儲溫度范圍 (-20~70)℃
    環(huán)境濕度 (0~95)%RH
    線性測量距離 (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
    線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃
    角度軸向量程 (0~15)m
    角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
    平面度軸向量程 (0~15)m
    平面度測量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
    直線度軸向量程 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
    直線度測量精度 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
    垂直度軸向量程 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
    垂直度測量精度 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


    產(chǎn)品功能

    (1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

    (2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

    (3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

    (4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

    (5)SJ6000光學(xué)機床激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

    (6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。


    測量軟件

    (1)友好的人機界面;

    (2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

    (3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?

    (4)簡潔化的記錄管理;

    (5)支持中文、英文和俄文界面;

    (6)支持企業(yè)專屬模板定制。


    產(chǎn)品應(yīng)用

    對機床精度再校準(zhǔn).jpg

    對機床精度再校準(zhǔn)

    三坐標(biāo)測量機示值誤差測量.jpg

    三坐標(biāo)測量機示值誤差測量

    導(dǎo)軌直線度檢測.jpg

    導(dǎo)軌直線度檢測

    光刻機X軸Pitch測量.jpg

    光刻機X軸Pitch測量


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